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                • NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
                NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

                NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

                  NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

                      特長
                    1. NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。


                    2. 低噪音、低振動


                    3. 優良的耐腐蝕性


                    4. 標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。


                    5. 選購件


                    6. 可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。



                    7. 用途
                    8. ?  活性氣體(CVD、刻蝕等)。


                    9. ?  排出非活性氣體(濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)。


                    10. ?  用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)


                    11. ?  作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)。


                    12. ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。


                • 技術參數

                • 外形尺寸圖

                • 抽氣速率曲線


                * 1  極限壓力是氮氣(密封氣體)在5.0 SLM時的值。
                * 2  無結露。
                * 3  用調節閥所調整的壓力表的值。
                * 4  氮氣(密封氣體)流量5.0 SLM是固定值。


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